B11 · Gas per semiconduttori ed elettronica
Lamiere in acciaio inossidabile per gas speciali per semiconduttori ed elettronica: guida alla selezione e 6 elenchi delle parti
Nei nostri gas speciali per semiconduttori ed elettronica, abbiamo organizzato 6 parti utilizzando acciaio inossidabile: 316L / 304L di uso comune con spessore da 0,05–30 mm.
Sei ubicazioni ed elenchi dei materiali
| Ubicazione / Parte | Grado consigliato | Specifiche / Spessore | Superficie | Principali modalità di guasto | Norme di riferimento |
|---|---|---|---|---|---|
| Condotte di trasferimento gas UHP | 316L VIM-VAR | 1/8″–2″ | Elettrolucidatura Ra≤0,4μm; Prove di corrosione intergranulare | Ritenzione di particelle → contaminazione del wafer; attacco Cl⁻/F⁻; corrosione della zona termicamente alterata (HAZ) della saldatura | SEMI F20 Grado 5；ASTM A269/A632；SEMI F19 |
| Corpo valvola/Manometri/Valvole a diaframma per cabinet gas speciali | 316L Fucinati VIM-VAR | DN1/4″–1″；Cv 0,05–1,30 | Elettrolucidatura Ra≤0,4μm | Distanza sede-parete tubo > 1D forma zone morte di ritenzione; attacco da gas speciali corrosivi | SEMI F20 4.6.2；ASTM A182 |
| Filtri gas/Raccordi/Bocchettoni | 316L VIM-VAR | Per interfaccia | Elettrolucidatura Ra≤0,4μm | Ostruzione da particolato e prodotti di corrosione; perdite di connessione | SEMI F20; ASTM A269 |
| Condotte di trasferimento di sospensioni CMP/prodotti chimici umidi | 316L Rivestimento EP/PFA/PTFE | 1/4″–2″ | Elettrolucidatura Ra≤0,4μm | Abrasione e macinazione + acido forte/ossidante + ritenzione di particelle | SEMI F20; SEMI F57; ASTM A269 |
| Lavaggio wafer/fascette/ugelli spray | 316L/PFA/silicio/carburo di silicio cubico | Recipiente da 3-10mm | Lucidatura/diffusione | Forte corrosione + contaminazione da particelle | SEMI F20; ASTM A240 |
| Camera a vuoto/piastra frontale/collo della finestra di osservazione | 304L/316LGrado Vuoto | Nave | 2B/Lucidatura Abrasiva/Lavaggio Acido | Degradazione a Basso Vuoto, Perdita di Saldatura | ASTM A240; SEMI F20; ISO 3669 |
Tasso Non Soddisfa i RequisitiConfigurazione Standard.Lo stesso componente può passare da 316L a 304L o 2205 in base alle condizioni d'uso, risparmiando tempo specificando le condizioni invece del solo materiale.
Punti chiave nella selezione dei materiali
- Le gradi più comunemente utilizzate sono 316L (6) e 304L (1).
- Partendo dal 316L resistente agli acidi, salire con 904L / o duplex (2/6 occorrenze).
- Intervallo di spessore: 0,05–30 mm: le lastre sottili sono per componenti formati (considerare il ritorno elastico in piegatura e la criccatura in imbutitura profonda), le lastre spesse sono per strutture saldate (considerare l'apporto termico e la sensibilizzazione).
Problemi comuni
Quale acciaio inossidabile è più utilizzato per i gas speciali semiconduttori ed elettronici?
Sul totale di 6 parti, il 316L compare più frequentemente (6 occorrenze) seguito dal 304L (1 occorrenza). La scelta specifica per una parte dipende comunque dal mezzo e dalla temperatura. Ad esempio, entrambi i piani di lavoro in acciaio inossidabile richiederebbero gradi diversi se uno fosse esposto all'acqua salata.
Quali tipi di aree sono soggette a problemi?
In base alle descrizioni dei guasti, esempi tipici includono "tubi di trasporto gas UHP": ritenzione di particelle → contaminazione della wafer; corrosione speciale da Cl⁻/F⁻; corrosione della zona termicamente alterata (HAZ) della saldatura. Grado raccomandato 316L VIM-VAR con specifiche 1/8″–2″. Per queste condizioni, si raccomanda di specificare concentrazione del mezzo, temperatura e metodi di pulizia in fase di progettazione.
Quale spessore devo selezionare?
L'intervallo di spessore nel listino è 0,05–30 mm. Per le lastre sottili, considerare la piegatura e la finitura superficiale; per le lastre spesse, la saldatura e la resistenza strutturale. I valori possono variare a seconda del produttore dell'apparecchiatura per la stessa posizione. Verificare nuovamente con il proprio disegno o le condizioni operative.
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